研究生: |
林明樺 M.H.Lin |
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論文名稱: |
基板偏壓對非晶碳氫薄膜微結構,物性影響研究 |
指導教授: |
周麗新
L.H.Chou |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
畢業學年度: | 87 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 100 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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