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| 研究生： |
黃士展 Shih Chan Huang |
|---|---|
| 論文名稱： |
TaSiN和TaSi在銅金屬製程上之擴散阻障層研究 TaSiN and TaSi Diffusion Barriers in Cu Metallization |
| 指導教授： |
葉鳳生
Fon-Shan Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 53 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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