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| 研究生： |
李昆育 Kun-Yu Lee |
|---|---|
| 論文名稱： |
高介電閘極氧化層之次奈米等效厚度於矽與砷化銦鎵半導體上之研究 The Study of Sub-Nanometer Equivalent Oxide Thickness of MBE and ALD Grown High κ Gate Dielectrics on Silicon and In0.53Ga0.47As Substrates |
| 指導教授： |
郭瑞年
Ray-Nien Kwo 洪銘輝 Ming-Hwei Hong |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2008 |
| 畢業學年度： | 96 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 105 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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