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| 研究生： |
李京穎 Lee, Ching-Yin |
|---|---|
| 論文名稱： |
複合式高功率脈衝磁控濺鍍法及陰極電弧沉積法製備(AlCrNbSiTi)N/TiN多層膜之結構與性質探討 A study on microstructures and properties of (AlCrNbSiTi)N/TiN multilayer nitride films deposited by the hybrid system of HiPIMS and CAD techniques |
| 指導教授： |
葉均蔚
Yeh, Jien-Wei 林樹均 Lin, Su-Jien |
| 口試委員: |
洪建龍
Horng, Jian-Long 曹春暉 Tsau, Chun-Huei 蔡哲瑋 Tsai, Tse-Wei |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 249 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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