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| 研究生： |
林榮達 jared |
|---|---|
| 論文名稱： |
小型磁控射頻濺鍍裝置研究 Study on the properties of small scaled magnetron RF sputtering apparatus |
| 指導教授： |
蕭憲彥 博士
Prof.Sen-Yen Shaw |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 47 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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