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| 研究生： |
林聖峯 Sheng–Feng Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
穿透切割膜檢驗晶圓切割道微隱裂隙之光學系統研究 Optical System for Inspecting Micro cracks in Silicon Wafer through Dicing Tape |
| 指導教授： |
羅丞曜
Cheng–Yao Lo 陳政寰 Cheng–Huan Chen |
| 口試委員: |
方怡欽
Yi-chin Fang 宋震國 Cheng-Kuo Sung 田仲豪 Chung-Hao Tien 曹哲之 Che-Chih Tsao |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2016 |
| 畢業學年度： | 104 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 98 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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