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| 研究生： |
謝孟霖 Hsieh, Meng-Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
陣列式垂直整合感測電極之CMOS-MEMS電容式觸覺感測器 Array-type Vertically Integrated Electrode Design for CMOS-MEMS Capacitive Tactile Force Sensor |
| 指導教授： |
方維倫
Fang, Wei-leun |
| 口試委員: |
羅丞曜
Lo, Cheng-Yao 李俊宏 Li, Chung-Hung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 119 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2025/08/19 (校內網路)全文公開日期 2025/08/19 (校外網路)