研究生: |
吳則賢 Wu, Tse Hsyan |
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論文名稱: |
偏壓對RF PECVD製作之非晶碳膜影響研究 The effect of dc-bias on the processing a-C:H by RF PECVD |
指導教授: |
周麗新
Chou Lin Hsin |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
畢業學年度: | 84 |
語文別: | 中文 |
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