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| 研究生： |
李偉強 Wei Chiang Lee |
|---|---|
| 論文名稱： |
以感應耦合型電漿源沈積含氧碳化矽薄膜作為氫離子感應場效電晶体感應膜之研究 Hydrogen ion-sensitive field effect transistor with silicon oxycarbide membrane deposited by Inductively Coupled Plasma method |
| 指導教授： |
陳建瑞
Jiann-Ruey Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 75 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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