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| 研究生： |
楊曉瑩 Yang, Hsiao-Ying |
|---|---|
| 論文名稱： |
於電子束微影製作0.1-0.6微米尺寸之氧化層開口中形成自動對準矽化鈦之研究 Formation of Self-Aligned TiSi2 on (001)Si inside 0.1-0.6μm Oxide Openings Prepared by Electron Beam Lithography |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen, Lih-Juann |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 85 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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