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| 研究生： |
林枝盈 Zhi-Ying Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
以化學流體沈積法沈積銅膜於矽基材上 Deposition of Copper Films on Silicon Wafer by Chemical Fluid Deposition |
| 指導教授： |
談駿嵩
Chung-Sung Tan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 論文出版年： | 2005 |
| 畢業學年度： | 93 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 87 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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