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| 研究生： |
鄭建麟 Chian-Ling cheng |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用實驗計畫法研究氟化物電漿中氮化矽反應性粒子蝕刻之最佳化 A Design of Experiment to Optimize Si3N4 Reactive Ion Etching in Fluorine-based Plasma |
| 指導教授： |
張一熙
Yee-Shyi Chang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 92 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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