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| 研究生： |
陳昱勳 Chen, Yu Hsun |
|---|---|
| 論文名稱： |
以堆疊兩層不同高介電物質作閘極氧化層來提升鰭式電晶體之效能 Enhanced Device Performance for FINFET by Stacking Two Different High-k Materials as Gate Oxide Layer |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung Hsien |
| 口試委員: |
鄭淳護
高瑄苓 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2015 |
| 畢業學年度： | 103 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 71 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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