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| 研究生： |
陳柏辰 Chen, Po-Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
感應耦合三氟化氮/氬氣脈衝模式電漿放電數值模擬計算分析-局部電子動力模型 Numerical Simulation Study of Inductively Coupled NF3 /Ar Pulse Mode Plasma Discharges – Local Electron Kinetic Model |
| 指導教授： |
柳克強
Leou, Keh-Chyang |
| 口試委員: |
李志浩
Lee, Chih-Hao 張家豪 Chang, Chia-Hao |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 179 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2029/01/27 (校內網路)全文公開日期 2029/01/27 (校外網路)