簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
鄭鈞文 Cheng, Chun-Wen |
|---|---|
| 論文名稱： |
多重真空微感測器整合之晶圓級製程平台的開發與實現 Development and implementations of wafer-level process platform with various vacuum conditions for micro sensors integration |
| 指導教授： |
方維倫
Fang, Wei-Leun |
| 口試委員: |
范龍生
Fan, Long-Sheng 李昇憲 Li, Sheng-Shian 盧向成 Lu, Shiang-Cheng 林宗賢 Lin, Chung-Hsien 邱一 Chiu, Yi |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2017 |
| 畢業學年度： | 105 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 123 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)