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| 研究生： |
劉書毓 Liu, Shu-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
遠程電感式耦合氫氣電漿源放電流體模型數值模擬分析研究 Fluid Model Numerical Simulation Study of Remote Inductively Coupled Hydrogen Plasma Discharges |
| 指導教授： |
柳克強
Leou, Keh-Chyang |
| 口試委員: |
張家豪
Chang, Chia-Hao 李志浩 Lee, Chih-Hao |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 187 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2028/12/19 (校內網路)全文公開日期 2028/12/19 (校外網路)