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| 研究生： |
周宜臻 Chou, Yi-Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
開發部分羥基化鉿、錫金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影 Development of Partially Hydroxylated Hafnium, Tin Metal Clusters and Blending Materials for Applications in Electron Beam |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
吳典霖
Wu, Tien-Lin 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 145 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2029/08/27 (校內網路)全文公開日期 2029/08/27 (校外網路)