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| 研究生： |
林伯禹 Lin, Bo-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於前瞻微影系統中晶圓上自我驅動之深紫外光/極紫外光無線感測模組 Development of On-wafer Self-Powered Wireless DUV/EUV Sensing Module for Advanced Lithography System |
| 指導教授： |
金雅琴
King, Ya-Chin |
| 口試委員: |
林崇榮
Lin, Chrong-Jung 施教仁 Shih, Jiaw-Ren |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 55 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2025/07/26 (校內網路)全文公開日期 2025/07/26 (校外網路)