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研究生: 楊濠仲
Yang Hao-Chung
論文名稱: 鍍膜厚度對離子鍍著奈米晶氮化鋯薄膜之結構與性質之影響研究
Effect of Film Thickness on the Structure and Properties of Nanocrystalline ZrN Thin Film Deposited by Ion Plating
指導教授: 黃嘉宏
喩冀平
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 原子科學院 - 工程與系統科學系
Department of Engineering and System Science
論文出版年: 2003
畢業學年度: 91
語文別: 英文
論文頁數: 104
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