研究生: |
楊濠仲 Yang Hao-Chung |
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論文名稱: |
鍍膜厚度對離子鍍著奈米晶氮化鋯薄膜之結構與性質之影響研究 Effect of Film Thickness on the Structure and Properties of Nanocrystalline ZrN Thin Film Deposited by Ion Plating |
指導教授: |
黃嘉宏
喩冀平 |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2003 |
畢業學年度: | 91 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 104 |
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