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| 研究生： |
汪若瑜 Wang； Ruo Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
電子迴旋共振式化學氣相沉積低溫氮化矽及摻雜多晶矽薄膜成長之研究 Study on the Low Temperature Growth of Silicon Nitride and Phosphrous Doped Poly Silicon Thin Films by ECR-CVD |
| 指導教授： |
黃惠良 ; 游萃蓉
Hwang Huey Liang ; Yew Tri Rung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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