目前大面積微波電漿源，多是利用大片石英板做為電磁波耦合窗口，面積越大，石英板厚度越厚，所需的功率亦隨之增加，散熱也是問題之一。故實驗中採用線型微波電漿源激發電漿，由於為圓柱型結構，壓力分散，石英管厚度較薄，同功率下激發效果也較好。
線型微波源在上階段的研究中加入同軸慢波結構，以激發電漿表面波，此結構優點為(1)微波以表面波方式傳遞，能量損失較少(2)微波傳輸波長縮短，空間中的駐波亦縮短，對電漿均勻性有一定的幫助。
另一方面，因為射頻功率波長較長(13.56MHz)，對電漿穿透度高，較易激發長尺寸電漿，故加入電感式耦合電漿(ICP)射頻功率源系統，以提高微波源均勻激發電漿的能力。本研究探討線性電感式電漿，與線型微波電漿的優點，以產生長尺寸穩定之電漿系統。實驗結果顯示，線型微波源加入射頻功率後，激發長度明顯增長，且密度可達1011cm-3為高密度電漿源。

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