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研究生: 張俊雄
Chang, Chun-Hsiung
論文名稱: 釐米行程 次奈米即時定位控制與雷射測長之研究
Study in Millimeter Range Subnanometer Real-Time Motion Control and Laser Metrology
指導教授: 倪維斗
Ni, Wei-Tou
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 物理學系
Department of Physics
畢業學年度: 87
語文別: 中文
論文頁數: 132
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