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| 研究生： |
陳峒羽 Chen, Tong-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
以低壓化學氣相沉積法鍍製氮氧化矽薄膜並探討其光學特性 Study of the optical properties of silicon oxynitride thin films fabricated by low pressure chemical vapor deposition |
| 指導教授： |
趙煦
Chao, Shiuh 井上優貴 Yuki, Inoue |
| 口試委員: |
王子敬
Wong, Henry Tsz King 章文箴 Chang, Wen-Chen |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 光電工程研究所 Institute of Photonics Technologies |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 66 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2026/08/20 (校內網路)全文公開日期 2026/08/20 (校外網路)