研究生: |
姜傑升 Jiang, Jie-Sheng |
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論文名稱: |
具差動式靜電致動的壓阻式CMOS-MEMS共振器設計 Piezoresistive CMOS-MEMS Resonators with Differential Electrostatic Actuation |
指導教授: |
李銘晃
Li, Ming-Huang |
口試委員: |
李昇憲
Li, Sheng-Shian 李尉彰 Li, Wei-Chang |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
論文出版年: | 2022 |
畢業學年度: | 110 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 80 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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