研究生: |
劉欣睿 Liu, Xin-Rui |
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論文名稱: |
以工業用二氧化碳雷射退火進行相變工程提升二硫化鉬電晶體中半金屬接觸材料之熱穩定性 Enhanced Thermal Stability of Phase Engineered Semimetal Alloy Contact on MoS₂ FETs by Industry-Compatible CO₂ Laser Annealing |
指導教授: |
闕郁倫
Chueh, Yu-Lun 沈昌宏 Shen, Chang-Hong |
口試委員: |
藍彥文
Lan, Yann-Wen 林炯源 Lin, Chiung-Yuan |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 113 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 117 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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