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| 研究生： |
鄭皓謙 Cheng, Hao-Chien |
|---|---|
| 論文名稱： |
具備大角度與反射面積壓電式微掃描面鏡之設計與實現 Design and Realization of a Piezoelectric MEMS Scanning Mirror with Large Scanning Angle and Reflection Area |
| 指導教授： |
方維倫
Fang, Weileun 賴梅鳳 Lai, Mei-Feng |
| 口試委員: |
謝哲偉
吳名清 Wu, Ming-Ching |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 123 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2025/08/08 (校內網路)全文公開日期 2025/08/08 (校外網路)