研究生: |
李奇澤 Chi-Tse Li |
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論文名稱: |
銅薄膜應力疏散機制的探討 The study of stress relaxation mechanisms in copper thin films |
指導教授: |
蔡哲正
Cho-Jen Tsai |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 2002 |
畢業學年度: | 90 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 93 |
相關次數: | 點閱:4 下載:0 |
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