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| 研究生： |
陳律璋 Chen, Lu-Chang |
|---|---|
| 論文名稱： |
表面電荷效應和非晶化結構在多晶矽閘極和超淺接面之電性研究 THE CHARACTERIZATIONS OF SURFACE CHARGING AND PREAMORPHIZATION IN POLYSILICON GATE AND ULTRA SHALLOW JUNCTION FORMATION |
| 指導教授： |
吳孟奇
Wu, Meng-Chyi |
| 口試委員: |
吳孟奇
何文章 陳隆建 何充隆 林嘉堅 蘇住裕 吳明園 |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2011 |
| 畢業學年度： | 99 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 105 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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